承上文

2.2、減少空氣循環(huán)量

潔凈室空氣循環(huán)量的減少對節(jié)能是很主要的內(nèi)容，主要是：一是減少單向流或要求嚴(yán)格的潔凈室的面積，二是合理降低潔凈室的平均氣流速度／換氣次數(shù)，三是提升潔凈室的密封性能，以及正壓控制不過髙。

1）減少單向流潔凈室的面積

把關(guān)鍵的要求嚴(yán)的潔凈加工區(qū)與周圍要求不嚴(yán)的潔凈室環(huán)境加以物理分隔，即對關(guān)鍵區(qū)域采用“點(diǎn)”或“線”的保護(hù)而不采用“面”的保護(hù)，以減少單向流潔凈室的面積，如在非單向流潔凈室內(nèi)設(shè)置潔凈工作臺、潔凈工作棚或?qū)恿髡值染植繂蜗蛄鳚崈魠^(qū)：采用微環(huán)境／隔離裝置等。

2）降低氣流速度、換氣次數(shù)由于髙效過濾器及污染控制水平的提髙，以及流體動力學(xué)技術(shù)的發(fā)展，經(jīng)驗(yàn)和研究已經(jīng)認(rèn)為可降低潔凈室的氣醜度／換氣次數(shù)，有導(dǎo)則等對氣流速度／換氣次數(shù)的推薦值已有所降低。在實(shí)際的設(shè)計、調(diào)試、生產(chǎn)過程中，應(yīng)以滿足規(guī)范要求、生產(chǎn)工藝的需求為標(biāo)準(zhǔn)，不宜留過髙的富余量。尤其是在調(diào)試、檢測過程及工程竣工初期運(yùn)行中，各項(xiàng)指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)髙于設(shè)計及規(guī)范的要求對節(jié)能是不利的。

3）提升潔凈室的密封性能及正壓控制不過高提升潔凈室的密封性能，及意味著外界污染物進(jìn)入潔凈室?guī)茁实臏p少，潔凈室可以在更低的氣流速度/換氣次數(shù)的條件下達(dá)到要求。監(jiān)理應(yīng)更多的關(guān)注這方面內(nèi)容，一定要請專業(yè)潔凈工程施工嚴(yán)把工程質(zhì)量。

2.3、減少空氣系統(tǒng)阻力

潔凈廠房工程的潔凈室的循環(huán)風(fēng)量和新風(fēng)量都很大，應(yīng)按具體情況慎重考慮合理的減少空氣系統(tǒng)的阻力。減少空氣系統(tǒng)阻力，意味著輸送空氣功率的減少，風(fēng)機(jī)功率的減少是節(jié)能，更重要的是降低了系統(tǒng)的熱負(fù)荷，節(jié)能效果非常明顯，如前所述，在髙級別的潔凈室中采用FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）的形式與采用集中送風(fēng)方式比較，可使空調(diào)系統(tǒng)熱負(fù)荷大幅下降。減少空氣系統(tǒng)阻力，可采用的方法包括：

1）采用合理的空氣輸送系統(tǒng)，

2）風(fēng)道應(yīng)采用低風(fēng)速并注意平滑過渡以減少阻力》

3）采用髙效設(shè)備，減少空氣處理設(shè)備的阻力？

4）降低多空地板的阻力，

5）降低干表冷的阻力，如有可能的條件下增加干表冷的面積以降低干表冷迎風(fēng)面速《采用橢圓管式的干表冷換熱器等，

6）合理選用ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡ過濾器并降低其迎面風(fēng)速。

2.4、雜控制排風(fēng)系統(tǒng)的排賭

潔凈工程技術(shù)中排風(fēng)量的控制對有些潔凈室的節(jié)能意義重大，如1C生產(chǎn)工藝的排風(fēng)較大，工藝設(shè)備更新快，一些設(shè)備的排風(fēng)量不易精確確定，往往采用很保守的數(shù)據(jù)，運(yùn)行時排風(fēng)量的波動亦較大。排風(fēng)量的增大必然會造纖風(fēng)負(fù)荷的加大?？刂婆烹x，可采取的方法包括：

1）盡量采用變賊排離，

2）采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排Mi，

3）—組排風(fēng)機(jī)組所帶末端不宜過多，不同工藝設(shè)備需要的排風(fēng)風(fēng)壓是不同的，是否共用一個系統(tǒng)，應(yīng)經(jīng)過經(jīng)濟(jì)技術(shù)比較確定

4）所有排風(fēng)支管的末端均應(yīng)裝設(shè)密閉性能好的調(diào)節(jié)閥，因排風(fēng)系統(tǒng)工作時并不是所有的工藝設(shè)備均需排風(fēng)，末端調(diào)節(jié)閥密閉性能不好，會造成較大漏風(fēng)，這點(diǎn)在請專業(yè)潔凈工程施工安裝、驗(yàn)收時應(yīng)與特別關(guān)注

5）除有毒、有害、易燃易爆等排風(fēng)系統(tǒng)外，在一般排風(fēng)系統(tǒng)的熱回收也是重要的節(jié)能的途徑。

2.5、工藝設(shè)備的發(fā)熱量、空調(diào)參數(shù)

工藝設(shè)備的發(fā)熱量只能通過工藝設(shè)備本身解決，空調(diào)參數(shù)的確定在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過高過嚴(yán)要求。否則，其能耗會大幅度上升。另外負(fù)荷計算時安全裕量不應(yīng)留有過大，否則設(shè)備的耗電會大大增加。

2.6、空調(diào)系統(tǒng)各設(shè)備的效率及節(jié)能方式潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)（包括冷凍水系統(tǒng)）能耗較大，因此采用髙效率的風(fēng)機(jī)、水泵、冷水機(jī)組及電機(jī)等具有明顯的節(jié)能和經(jīng)濟(jì)效益。在選擇設(shè)備時還要注意設(shè)備在運(yùn)行點(diǎn)時保持較髙的效率。

1）空調(diào)機(jī)組風(fēng)機(jī)的變頻控制

潔凈室的空調(diào)機(jī)組通常是指空調(diào)雛（AHU）、新風(fēng)機(jī)組（MAU）、循環(huán)機(jī)組（RAU），一般情況下，新風(fēng)機(jī)組（MAU）應(yīng)采用變頻控制，空調(diào)機(jī)組（AHU）、循環(huán)相組（RAU）是否采用變頻控制，應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)特點(diǎn)，空調(diào)工況計算后經(jīng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)比較后作出。

在潔凈廠房工程的新風(fēng)系統(tǒng)中，粗、中、高效過濾器的阻力是隨系統(tǒng)投入運(yùn)行時間變化的，在新風(fēng)機(jī)組設(shè)計時其風(fēng)機(jī)風(fēng)壓一般是按中、高效過濾器的終阻力來確定的，過濾器的終阻力通常按初阻力的２倍計算。這樣新風(fēng)機(jī)組在相當(dāng)長的運(yùn)行時間內(nèi)系統(tǒng)的實(shí)際阻力遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于所配風(fēng)機(jī)的壓頭，如沒變頻調(diào)節(jié)措施，只能靠關(guān)小新風(fēng)系統(tǒng)總風(fēng)管上的閥門來達(dá)到系統(tǒng)送風(fēng)量，當(dāng)系統(tǒng)運(yùn)行一段時間后，由于空氣過濾器容塵量的增加而阻力逐漸上升，系統(tǒng)送風(fēng)量也會隨之逐漸下降，為系統(tǒng)送風(fēng)量滿足維持房間潔凈等級的要求，只能定期開大新風(fēng)管上的閥門，這樣不僅浪費(fèi)能源，對運(yùn)行管理也帶來很大不便，故潔凈工程技術(shù)中新風(fēng)機(jī)組應(yīng)采用變頻控制，多采用根據(jù)潔凈廠房的正壓值控制風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速以確保必須的新風(fēng)量。

隨著變頻技術(shù)的發(fā)展和變頻系統(tǒng)價格的下降，以及**、社會、業(yè)主對節(jié)能降耗的重視，空調(diào)機(jī)組（AHU）、循環(huán)機(jī)組（RAU）也越來越多的采用變頻控制，這不僅節(jié)省能源，同時也解決了不生產(chǎn)時低風(fēng)量運(yùn)行問題。

2）風(fēng)機(jī)和電機(jī)采用直聯(lián)

風(fēng)機(jī)的驅(qū)動采用電機(jī)直聯(lián)的方式，不僅風(fēng)機(jī)的傳動效率高（電動直聯(lián)為100％，三角皮帶傳動為95％），而且可以減少機(jī)組震動對工藝設(shè)備的影響。

3）直流式FFU的應(yīng)用

FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）從電源方面分為直流和交流兩種形式，交流式一般設(shè)3:5檔調(diào)節(jié)電壓的方式來調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速，以滿足FFU出風(fēng)口風(fēng)速的需要，由于控制元件為FFU自帶，分布在潔凈室吊頂各個位置，控制起來極不方便。直流式FFU配一個直流調(diào)速器，電機(jī)無電刷，噪音小，直流電機(jī)的轉(zhuǎn)子是永磁的，節(jié)省了三相異步電動機(jī)的轉(zhuǎn)子電流消耗。同交流FFU相比，直流式FFU電機(jī)功率更小，電機(jī)發(fā)熱更少，減少無關(guān)能耗，也有效降低空調(diào)負(fù)荷。有資料表明，同交流式FFU相比，直流式FFU經(jīng)過2年左右時間可將前期投入的差值拉平（按每臺FFU每年運(yùn)行350天，每天運(yùn)行24ｈ計）。同交流式FFU相比，直流式FFU控制更為方便，簡單，這一優(yōu)點(diǎn)在大型的潔凈工程中比較突出。

4）中低溫冷凍水系統(tǒng)分別設(shè)置和采用帶熱回收式冷水機(jī)組

在老的電子工廠中，通常只設(shè)置單一溫度的冷凍水供應(yīng)系統(tǒng)，為了保證新風(fēng)機(jī)組的除濕，只能設(shè)置低溫冷凍水系統(tǒng)，有的系統(tǒng)、用冷點(diǎn)均對冷凍水溫度要求很是寬松，尤其是隨著干表冷器越來越多的應(yīng)用，對冷凍水的最低溫度也提出要求，這就使中低溫冷凍水系統(tǒng)的設(shè)置不僅成為可能，而且是必須。對于大型的電子工廠，冷凍水的供應(yīng)可分成中低溫兩個系統(tǒng)，采用中溫冷水機(jī)組的方式。中溫冷水機(jī)組制冷性能優(yōu)于低溫冷水機(jī)組，如前所述：一般冷水機(jī)組出水溫度提高，能耗降低2％，出力增加3％（需視具體機(jī)組情況而定），這樣采用12X：的冷凍水系統(tǒng)可使冷水機(jī)組運(yùn)行比5X：時節(jié)省15％-18％，節(jié)能效果明顯。需要指出的是，為了達(dá)到最大程度的節(jié)能目的，一旦設(shè)置了中溫冷凍機(jī)組，應(yīng)盡量擴(kuò)大中溫冷凍水的使用范圍，如新風(fēng)處理系統(tǒng)的一級表冷，變配電所降溫空調(diào)系統(tǒng)的表冷器，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，純水系統(tǒng)的冷卻等。

潔凈室一年四季均需要冷水，同時，冬季電子工廠也需要大量的低熱水，經(jīng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)比較后可采用帶熱回收式的冷水機(jī)組，以達(dá)到節(jié)能目的。

5）冷凍水、冷卻水采用大溫差常規(guī)空調(diào)中，冷水機(jī)組冷凍水供回水溫度為7/12℃，冷卻水供回水溫度32t：/37r，均采５℃溫差。

如將冷凍水的供回水溫度調(diào)整為7℃／14℃，采用TC溫差，則冷凍水流量約可減少為原來的71.5％，由于水泵的動力與流量成正比，因此能耗也為原來的71.5％（注意需核算空調(diào)機(jī)等的盤管面積）。冷卻水溫度也可采用大溫差的方式，如冷卻水供回水溫度32X：40℃，但是冷卻水溫度的提髙，冷水機(jī)組的COP性能有所下降，不過這種情況主要發(fā)生在夏季的白天，在夏季晚上，過渡季節(jié)，冬季和部分負(fù)荷運(yùn)行時，冷卻水回水溫度一般不會達(dá)到４（TC，冷水機(jī)組運(yùn)行工況大部分時間沒有設(shè)計工況嚴(yán)苛，對冷水機(jī)組性能影響不大。需要注意的是采用大溫差的冷卻水運(yùn)行溫度只適用于一年四季運(yùn)行的冷水機(jī)組，單純的舒適空調(diào)、公共建筑等的冷水機(jī)組采用這種方法意義不大，甚至更加耗能。

6）自由冷卻潔凈工程技術(shù)系統(tǒng)的應(yīng)用

所謂自由冷卻潔凈工程技術(shù)系統(tǒng)，根據(jù)當(dāng)?shù)氐臍夂蛱攸c(diǎn)，在冬季或過渡季節(jié)，利用自然環(huán)境的“冷量”供冷，即利用工程項(xiàng)目中的制冷系統(tǒng)，在冬季或過渡季節(jié)冷水機(jī)組不制冷，而用冷卻塔循環(huán)冷卻供冷。自由冷卻系統(tǒng)閥門控制較多，宜采用全自動控制方式，以確保凈化空調(diào)所需溫度的冷水。

7）準(zhǔn)確、有效、方便、快捷的控制系統(tǒng)不論何時，準(zhǔn)確、有效、可靠的自動控制系統(tǒng)是非常重要的，只有系統(tǒng)可靠運(yùn)行，參數(shù)符合設(shè)計要求，才不會造成浪費(fèi)，才能節(jié)能。

結(jié)論

潔凈廠房工程的節(jié)能是一個綜合的系統(tǒng)工程，并不是所有的方式均適用。要根據(jù)項(xiàng)目的具體情況綜合考慮一次投資和日常運(yùn)行費(fèi)用有選擇的采用。